"High-density integration of carbon nanotubes via chemical self-assembly". H. Park, A. Afzali, S.-J. Han, G. S. Tulevski, A. D. Franklin, J. Tersoff, J. B. Hannon, W. Haensch. NATURE NANOTECHNOLOGY. In press. DOI: 10.1038/nnano.2012.189
Carbon nanotubes have potential in the development of high-speed and power-efficient logic applications.
However, for such technologies to be viable, a high density of
semiconducting nanotubes must be placed at precise locations on a
substrate. Here, we show that ion-exchange chemistry can be used to
fabricate arrays of individually positioned carbon nanotubes with a
density as high as 1 × 109 cm−2—two orders of magnitude higher than previous reports.
With this approach, we assembled a high density of carbon-nanotube
transistors in a conventional semiconductor fabrication line and then
electrically tested more than 10,000 devices in a single chip. The
ability to characterize such large distributions of nanotube devices is
crucial for analysing transistor performance, yield and semiconducting
nanotube purity.
Los nanotubos de carbono tienen el potencial de desarrollar aplicaciones lógicas de alta velocidad eficientes energéticamente. Sin embargo, para que dichas tecnologías sean viables, se debe poder colocar una alta densidad de nanotubos semiconductores en posiciones precisas sobre un substrato. Aquí se muestra que la química de intercambio de iones puede usarse para fabricar arreglos de nanotubos de carbono posicionados individualmente, con una densidad tan alta como 1 × 109 cm−2—dos órdenes de magnitud mayor que lar reportadas previamente. Con esta estrategia, se ensamblaron transistores de alta densidad de nanotubos de carbono en una línea de fabricación convencional de semiconductores, y entonces se probaron eléctricamente más de 10,000 dispositivos en un único circuito. La capacidad de caracterizar distribuciones de dispositivos de nanotubos así de grandes es muy importante para el análisis del desempeño de los transistores, de su eficiencia y de la pureza de los nanotubos semiconductores.
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